簡要描述:EVG6200 NT以其自動化靈活性和可靠性而著稱,可在最小的占位面積上提供了優于其他品牌的掩模對準技術,并具有最高的產能,先進的對準功能和優化的總擁有成本。操作員友好型軟件,最短的掩模和工具更換時間以及高效的全球服務和支持使它成為任何制造環境的理想解決方案。EVG6200 NT或安裝的EVG6200 NT Gen2掩模對準系統有半自動或自動配置,并配有集成的振動隔離功能。
技術數據:EVG6200 NT以其自動化靈活性和可靠性而著稱,可在最小的占位面積上提供了優于與其他品牌的掩模對準技術,并具有最高的產能,先進的對準功能和優化的總擁有成本。操作員友好型軟件,最短的掩模和工具更換時間以及高效的全球服務和支持使它成為任何制造環境的理想解決方案。EVG6200 NT或安裝的EVG6200 NT Gen2掩模對準系統有半自動或自動配置,并配有集成的振動隔離功能,可在廣泛的應用中實現出色的曝光效果,例如薄和厚光刻膠的曝光,深腔和類似地形的圖案,以及薄而易碎的材料(例如化合物半導體)的加工。此外,半自動和全自動系統配置均支持EVG專有的SmartNIL技術。